Tá an breogán speisialta graifíte seo le haghaidh foirnéisí ionduchtaithe i bhfolús deartha le haghaidh ábhar leathsheoltóra a leá, scagadh miotail ghrúpa platanam, agus ullmhú cóimhiotail tearc-mhiotail i gcásanna arda. Tá sé difriúil ón gcéad chineál breogán réitigh tionsclaíoch atmaisféar aeir. Úsáidtear é ar fud an domhain i dtimpeallacht ardfholús agus argón támh. Tá sé déanta as graifít iseastatach íonachta ard 6N de ghrád 6N agus tá sé feistithe le próiseas cóireála éighníomhachtaithe gásúcháin íseal amach. Tá scaoileadh substaintí so-ghalaithe ag teochtaí arda thar a bheith íseal, agus ní dhéanfaidh sé éilliú ar an seomra folúis nó ar amhábhair chóimhiotail ard-íonachta. Tá sé oiriúnach le haghaidh foirnéisí leá ionduchtaithe i bhfolús saotharlainne agus trealamh ionduchtaithe folús ardleibhéil le haghaidh scagadh miotail lómhara. Úsáidtear é go príomha le haghaidh cóimhiotail ardteochta aeraspáis, sprioc-ábhar leathsheoltóra, agus táirgeadh íonú miotail lómhara platanam.
Próiseas degassing íonú eisiach: Tar éis an billet a fhoirmiú, téann sé faoi 72 uair an chloig de 1550 céim i bhfolús degassing téarma fada chun deireadh a chur le taise iarmharach agus substaintí so-ghalaithe orgánacha sna pores graifít, cosc a chur ar an titim tapa i leibhéal an fholús le linn leá bhfolús; déantar an dromchla a chóireáil le CVD-micrea-SiC{{-póirshéalaithe agus éighníomhachtú chun scaoileadh rian neamhíonachtaí ón taobh istigh a chosc.
Leas iomlán a bhaint as struchtúr riocht folúis: Níl aon bhearnaí comhpháirteacha ag an breogán ar fud, agus déantar é a fhoirmiú trí phróiseáil CNC comhtháite. Tá tiús an bhalla aonfhoirmeach gan aon limistéir lag. I dtimpeallacht folúis, ní bheidh aon sceitheadh aeir ina chúis le haon scoilteanna micrea. Tá an bun tiubhaithe chun an brú a sheasamh, agus féadann sé leá miotail neamhchoitianta ard-dlúis a sheasamh. In éineacht le dearadh téimh aonfhoirmeach réimse maighnéadach na foirnéise ionduchtaithe folúis, déantar an difríocht teochta laistigh den fhoirnéis a rialú laistigh de ± 3 céim.
Eolas mionsonraithe ar an táirge
Cumais tacaíochta saincheaptha: Tá an cumas idir 500g agus 50kg. Is féidir an trastomhas istigh agus an airde a shaincheapadh de réir mhéid an tseomra foirnéise ionduchtaithe i bhfolús. Tacaíonn sé le struchtúir speisialta éagsúla cosúil le soic treorach, réamh-mheastacháin séalaithe, agus grooves suite clampála. Is féidir é a bheith feistithe le sleeves inslithe graifíte ard-íonachta chun teocht inmheánach na foirnéise folúis a chobhsú tuilleadh.
Córas rialaithe cáilíochta deiridh ard: Déantar tástáil ráta braite gáis héiliam ar gach breogán, scanadh eisíontais ICP iomlán, agus tástáil cobhsaíochta ardteochta i bhfolús. Soláthraítear sraith iomlán de shonraí iniúchta glan SEMI leis na hearraí, ag comhlíonadh na gcaighdeán athbhreithnithe allmhairithe de mhonarchana scagtha leathsheoltóra agus miotail lómhara san Eoraip agus sna Stáit Aontaithe.
Gnéithe lárnacha táirge
Ultra{0}}Feidhmíocht astaíochta teocht íseal ard-gáis, tá an ráta iomlán astaíochta gáis i dtimpeallacht folúis 1500 céim níos lú ná 7×10⁻¹⁰ Pa·m³/s, ag cothabháil timpeallacht fholús ard de 10⁻⁷ Pa go cobhsaí;
6N tsubstráit ardíonachta ultra-, cion iomlán luaithreach Níos lú ná nó cothrom le 5ppm, bórón-eisíontais fosfar Níos lú ná nó cothrom le 0.005ppm, gan aon truailliú eisíontais imirce le linn bruithnithe miotail neamhchoitianta agus cóimhiotail leathsheoltóra;
Gnéithe lárnacha táirge
Comhéifeacht leathnaithe teirmeach anisotrópach thar a bheith íseal de 2.1×10⁻⁶/ céim . Tar éis 1400 timthriall de théamh agus fuarú i bhfolús, níl aon scoilteadh nó dífhoirmiú ann. Tá sé oiriúnach do dhálaí oibre fadtréimhseacha i bhfolús séalaithe.
Próiseáil cruinneas comhtháite gan uaim, le lamháltas méid ± 0.05mm. Meaitseálann sé go foirfe le trealamh leá ionduchtaithe bhfolús iompórtáilte éagsúla agus ní gá modhnú ar-suímh.
| Níl. | Mír Tástála | Paraiméadar Caighdeánach | Modh Tástála |
|---|---|---|---|
| 1 | Bunábhar | Graifít Iseastatach 6N Ultra-Ardíonachta | Anailís eiliminte iomlán ICP-MS |
| 2 | Ábhar Fuinseoige Iomlán | Níos lú ná nó cothrom le 5 ppm | Brath mais-speictriméadracht riandúile |
| 3 | Eisíontas Aonair (B / P) | Níos lú ná nó cothrom le 0.005 ppm | Ultra{0}}rianú ICP-tástáil MS |
| 4 | Ráta Amach Iomlán (Folús 1500 céim) | ＜7 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s | Tástálaí folúsghásaithe Héiliam |
| 5 | Tréscaoilteacht Mhaighnéadach | ＜1.005 | Ionstraim tréscaoilteachta maighnéadach ard-chruinneas |
| 6 | Comhéifeacht Leathnú Teirmeach (25-1500 céim) | 2.1 × 10⁻⁶ / céim | Tástáil dilatometer teocht ard |
| 7 | Timthriallta Turraing Teirmeach faoi Choinníoll Fholúis | Níos mó ná nó cothrom le 1400 timthriall | Tástáil aosaithe teochta ailtéarnaigh i bhfolús |
| 8 | Cóireáil Frithchreimeadh Dromchla | Ciseal Pasivation Séalaithe Micropore CVD | Scanadh iniúchadh micreascóp leictreon |
| 9 | Timpeallacht Infheidhme | Atmaisféar Ardfholús / Argón Támh (1300~1800 céim) | Tástáil chuimsitheach teocht ard i bhfolús |
| 10 | Raon Cumais Chustaim | 0.5kg ~ 50kg | Brath comhordanáidí trí-CNC |
Clibeanna Te: breogán graifít ard-íonachta le haghaidh foirnéise ionduchtaithe i bhfolús, breogán graifít ard-íonachta na Síne le haghaidh monaróirí foirnéise ionduchtaithe i bhfolús, soláthraithe, monarcha
