Tá leictreoidí grafite UHP d’Fhoirnéisí Folúis ard-d’eilimintí teasa seoltacha deiridh déanta as-snáthaid de ghrád{-múnlaithe carbóin dubh ag baint úsáide as an bpróiseas brúite iseastatach agus faoi réir graifítiú ultra-teocht ard agus cóireáil folúsíonúcháin os cionn 3000 céim . Tá siad saindeartha le haghaidh córais téimh i bhfolús/atmaisféar támh a oibríonn faoi choinníollacha ardbhrú (dlús reatha Níos mó ná nó cothrom le 30A/cm²).
I gcomparáid le gnáth-leictreoidí graifíte foirnéise bhfolús, sroicheann an táirge seo cothromaíocht foirfe d’fhriotaíocht ultra-íseal agus neart meicniúil an-ard, agus tá sé oiriúnach do dhálaí foircneacha oibre amhail foirnéisí stua folús ardbhrú, foirnéisí féin-ídithe i bhfolús, agus foirnéisí leá-léas leictreoin. Úsáidtear go forleathan é i réimsí a bhfuil dlús agus íonacht mhórchumhachta ag teastáil uathu, mar ullmhú miotail teasfhulangacha aeraspáis, íonú ábhar tionsclaíoch núicléach, fás criostail aonair leathsheoltóra, agus leá ultra-ardbhrú cóimhiotail speisialta.
Folús leá ultra-stua ardbhrú (feidhmchlár lárnach do mhiotail teasfhulangacha aeraspáis)
Maidir le leá stua bhfolús ardbhrú ultra-miotail teasfhulangacha amhail tíotáiniam, siorcóiniam, tungstain, agus moluibdín agus a gcóimhiotail, soláthraíonn leictreoidí graifíte UHP réiteach téimh cobhsaí le teocht ó 2500 go 3000 céim . Is féidir leis an dlús reatha 35A/cm² a bhaint amach (i gcomparáid le 20A/cm² do ghnáthleictreoidí graifíte), agus méadaítear an éifeachtacht leá 50%. Glactar leis an teicneolaíocht foirmithe brú isostatach tríthoiseach, rud a chinntíonn struchtúr inmheánach aonfhoirmeach agus dlúth an leictreoid gan aon lochtanna inmheánacha, rud a sheachnaíonn damáiste leictreoid de bharr urscaoileadh áitiúil faoi choinníollacha stua ardbhrú.
Cinntíonn an dearadh friotaíochta grádán nuálaíoch go bhfuil friotachas an chroíchuid den leictreoid chomh híseal le 5μΩ・m ag 1000 céim, agus go dtiocfaidh méadú 5% ar ghrádán friotaíochta an chiseal seachtrach 5%, ag baint amach dáileadh reatha aonfhoirmeach agus rialú beacht ar an réimse teirmeach. Feabhsaítear íonacht an ábhair miotail go 99.9999%, ag freastal ar riachtanais na n-ábhar lárnacha mar lanna inneall aeraspáis agus comhpháirteanna imoibreora núicléacha.
íonú leá chrios ardbhrú leathsheoltóra singil-sileacain chriostail ultra- (an “réabhlóid íonachta” sa tionscal sliseanna)
Freastalaíonn sé ar íonú leá i bhfolúschrios ardbhrú le haghaidh sliseog sileacain chriostail singil 12{-orlach agus níos mó. Tá friotachas ultra-ag na leictreoidí graifíte UHP (ag teocht an tseomra Níos lú ná nó cothrom le 12 μΩ・m, ag 1000 céim Níos lú ná nó cothrom le 5 μΩ・m) agus tréithe tréscaoilteachta maighnéadach nialasach, ag seachaint trasnaíocht leictreamaighnéadach a chuireann isteach ar fhás criostail sileacain. Is féidir le struchtúr log leictreoid saincheaptha le bealaí uisce-fuaraithe an teocht leictreoid a choinneáil cobhsaí faoi bhun 150 céim ag 3000 céim, le dífhoirmiúchán teirmeach níos lú ná 0.02mm, ag cinntiú go bhfuil diall trastomhas an chriostail sileacain níos lú ná ± 0.1mm.
Cinntíonn an ráta fíor-íseal astaithe gáis sa timpeallacht folúis (＜3×10⁻⁹ Pa・m³/s) go mbeidh an fholús laistigh den fhoirnéis cobhsaí ag an leibhéal 10⁻⁷ Pa, rud a sheachnaíonn éilliú na sliseog ag hidreacarbóin agus neamhíonachtaí miotail. Méadaítear toradh an fheiste leathsheoltóra go dtí os cionn 99.5%, atá oiriúnach do riachtanais táirgeachta sliseanna próiseas chun cinn de 7nm agus thíos.
Folúschóireáil ultra-fulúschóireáil teasa d’ábhair thionsclaíocha núicléacha (chun feidhmíocht sábháilteachta a chinntiú)
Cuirtear folúschóireáil teasa ardbhrú i bhfeidhm ar ábhair de ghrád núicléach amhail slata rialaithe agus cumhdach breosla imoibreoirí núicléacha. Is féidir leis na leictreoidí graifíte UHP dlús srutha foircneacha de 40A/cm² a sheasamh, ag soláthar raon teochta inrialaithe de 1800-2200 céim , le aonfhoirmeacht teochta de ±3 céim , ag cinntiú airíonna meicniúla comhsheasmhacha agus friotaíocht creimeadh na n-ábhar núicléach. Glactar le próiseas speisialta a bhaint bórón, agus tá an t-ábhar bórón sna leictreoidí níos lú ná nó cothrom le 0.1ppm, ag seachaint athruithe ar thrasghearradh ionsú neodrón na n-ábhar núicléach agus ag cinntiú sábháilteacht oibriú imoibreora núicléach.
Friotaíocht radaíochta Super láidir. Tar éis a bheith faoi lé 10⁸ Gy de ghhathanna gáma, tá an ráta athraithe friotachas níos lú ná 2%, agus tá an ráta coinneála neart meicniúil os cionn 95%. Tá sé oiriúnach do thimpeallacht radaíochta crua an tionscail núicléach, le saol seirbhíse suas le 1200 timthriall foirnéise, ag laghdú costas táirgthe ábhar núicléach.
Feidhmíocht lárnach agus gnéithe táirge
Séala nasc triple, iontaofa faoi choinníollacha foircneacha: Cinntíonn an nasc triple de snáithe + dromchla cónúil + fáinne séalaithe miotail friotaíocht teagmhála níos lú ná nó cothrom le 3μΩ, le feidhmíocht séalaithe i bhfolús a bhaint amach 10⁻⁸ Pa leibhéal. Is féidir leis 500kN de bhrú aiseach a sheasamh agus tá sé oiriúnach do choinníollacha ardbhrú.
Cosaint sciath ilchodach, saol seirbhíse fada: Feabhsaíonn an sciath ilchodach nano SiC + TiN friotaíocht ocsaídiúcháin 80%. Tá an ráta tomhaltais leictreoid i dtimpeallacht folúis 2500 céim níos lú ná 0.05g/cm²·h, agus sroicheann saol na seirbhíse 1000-1500 timthriall foirnéise.
Seirbhís lánphróiseála saincheaptha: Raon trastomhas 50-1000mm, fad 200-5000mm. Is féidir struchtúir inoiriúnaithe cosúil le fuarú uisce log, rannóga cruth speisialta, agus snáitheanna speisialta a sholáthar. Tairgtear réiteach aon-stad ó roghnú ábhar go suiteáil agus coimisiúnú.
cén fáth a roghnú linn
Déan réitigh a thairiscint go sonrach do chustaiméirí a bhfuil leictreoidí graifíte ardchumhachta acu
cén fáth a roghnú ár gcuid táirgí
Déantúsaíocht ghairmiúil ar leibhéal an fholús: Le 12 bliain de thaithí i ndéantúsaíocht leictreoidí graifíte le haghaidh foirnéisí folúis, tá líne táirgeachta íonú teochta 2800 céim ar airde againn. Tá ár gcuid táirgí tar éis deimhnithe idirnáisiúnta a rith mar SEMI F47 agus ASTM C695, agus tá siad oiriúnach do thimpeallachtaí ardfholúsacha de 10⁻⁶ Pa.
Réitigh saincheaptha: Feistithe le lárionad meaisínithe CNC 5-ais, is féidir linn leictreoidí speisialta, struchtúir fuaraithe, agus modhanna nasc speisialta a shaincheapadh de réir líníochtaí dearaidh foirnéise an chustaiméara, ag soláthar seirbhís aon-stad ó dhearadh go suiteáil.
Rialú cáilíochta próisis iomlán: Ag baint úsáide as trealamh tástála Gearmánach iompórtáilte, déanaimid 12 iniúchadh cuimsitheach ar gach baisc de tháirgí, lena n-áirítear cion carbóin, anailís eisíontais, ráta sceite, agus friotachas. Ní cheadaítear aon táirgí lochtacha an mhonarcha a fhágáil.
Ráthaíocht shaol seirbhíse leathnaithe: Trí struchtúr dlús grádáin agus teicneolaíocht sciath SiC, tá saol seirbhíse ár dtáirgí 50% níos faide ná caighdeáin an tionscail, ag soláthar ráthaíochta cáilíochta foirnéise 800-, ag laghdú minicíocht agus costais athsholáthair custaiméirí.
Freagra tapa domhanda: Tá stórais thar lear againn sa Ghearmáin, sna Stáit Aontaithe agus sa tSeapáin. Seoltar sonraíochtaí caighdeánacha laistigh de 3 lá, agus seachadtar táirgí saincheaptha laistigh de 7-15 lá. 24-uair an chloig tá tacaíocht theicniúil ar fáil chun fadhbanna a réiteach leis an gcóras teasa foirnéise bhfolús.
| Níl. | Mír Cigireachta | Caighdeán Leictreoid Graifíte Foirnéise Fholúis UHP | Modh Tástála |
|---|---|---|---|
| 1 | Amhábhar | Cóc Snáthaide Peitriliam Préimhe + Fáscadh Iseastatach | Anailís Ábhar Carbóin |
| 2 | Ábhar Carbóin Seasta | Níos mó ná nó cothrom le 99.999% | Modh Dócháin Ardteochta |
| 3 | Dlús Bulc | 1.90 - 1.93 g / cm³ | Ardphrionsabal Archimedes |
| 4 | Ábhar Eisíontais Iomlán | Níos lú ná nó cothrom le 3 ppm (Fe, Ni, Cu Níos lú ná nó cothrom le 0.5 ppm an ceann; B Níos lú ná nó cothrom le 0.1 ppm) | Brath rian ICP{0}}MS Ultra- |
| 5 | Dlús Reatha Rátáilte | Níos mó ná nó cothrom le 30 A/cm² (Uasmhéid. 40 A/cm²) | Tástáil Ard-Dlúis reatha- |
| 6 | Uasteocht Oibre-Téarma Fad | 2500 - 3000 céim (Folamh) | Tástáil Chobhsaíochta Teocht an-ard |
| 7 | Ráta Amach Gáis (2500 céim) | ＜5 × 10⁻⁹ Pa·m³/s | Tomhas Asghásaithe Fholúis ultra-ard |
| 8 | Friotaíocht Leictreach (RT) | Níos lú ná nó cothrom le 12 μΩ·m | Modh Tomhais Tóraigh ceithre phointe |
| 9 | Friotaíocht Leictreach ( 1000 céim ) | Níos lú ná nó cothrom le 5 μΩ·m | Córas Tástála-teocht ard |
| 10 | Seoltacht Theirmeach ( 25 céim ) | 160 – 180 W/(m·K) | Méadar Seolta Teirmeach Flash Laser |
| 11 | Comhéifeacht Leathnú Teirmeach (25-1000 céim) | 2.8 × 10⁻⁶/ céim | Dialaiméadar-beachtais ard |
| 12 | Neart Solúbtha ( 2500 céim ) | Níos mó ná nó cothrom le 45 MPa | Tástáil Mheicniúil Ardteochta |
| 13 | Neart Comhbhrúiteach ( 2500 céim ) | Níos mó ná nó cothrom le 120 MPa | Tástáil Comhbhrúite Ardteochta Ultra- |
| 14 | Cumhdach Dromchla | Cumhdach Ilchodach Nano SiC + Stáin (50-100μm) | Tomhsaire Tiús Cumhdach |
| 15 | Cineál Ceangail | Snáithe + Taper + Fáinne Séala Miotail (Cosaint Thríreach) | Córas Braite Sceitheadh Fholúis |
| 16 | Raon Méid Caighdeánach | Trastomhas: 50-1000 mm; Fad: 200-5000 mm | Meaisín Tomhais Comhordanáidí 3D |
| 17 | Saol Seirbhíse (Timpeallacht Fholúis) | 1000 - 1500 timthriall | Tástáil Fholúis Fholúis Ultra-ardchumhachta |
| 18 | Ábhar Bórón | Níos lú ná nó cothrom le 0.1 ppm | Mais-Speictriméadracht Plasma Cúpláilte go hIonduchtach |
Clibeanna Te: leictreoidí graifít uhp le haghaidh foirnéisí bhfolús, leictreoidí graifíte tSín uhp le haghaidh foirnéisí bhfolús monaróirí, soláthraithe, monarcha
